《表1 标准气体浓度浓度：气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量》
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300 mL取样钢瓶（美国HOKE）；标准气体（大连大特气体有限公司），浓度见表1。
| 图表编号 | XD0035211900 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.01.20 |
| 作者 | 杨红燕、毛智慧、陶明、任国杨 |
| 绘制单位 | 云南冶金云芯硅材股份有限公司、云南省光电子硅材料制备技术重点实验室、云南冶金云芯硅材股份有限公司、云南省光电子硅材料制备技术重点实验室、云南冶金云芯硅材股份有限公司、云南省光电子硅材料制备技术重点实验室、云南冶金云芯硅材股份有限公司、云南省光电子硅材料制备技术重点实验室 |
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