《表5 精密度测定结果：气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量》
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在90℃水浴，加热时间为120 min的条件下，对MSA 3#、4#和GT2#氢化尾气连续进行10次测定，计算标准偏差和相对标准偏差，结果见表5。从表5可以看出，其相对标准偏差为0.99%～13.16%（RSD，n=6）表明方法具有良好的重复性。
| 图表编号 | XD0035211800 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.01.20 |
| 作者 | 杨红燕、毛智慧、陶明、任国杨 |
| 绘制单位 | 云南冶金云芯硅材股份有限公司、云南省光电子硅材料制备技术重点实验室、云南冶金云芯硅材股份有限公司、云南省光电子硅材料制备技术重点实验室、云南冶金云芯硅材股份有限公司、云南省光电子硅材料制备技术重点实验室、云南冶金云芯硅材股份有限公司、云南省光电子硅材料制备技术重点实验室 |
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