《表4 准确度测定结果：气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量》

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《气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量》

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为验证该方法的准确性，对标准气体各组分进行测定，结果见表4。从表4可以看出，根据国家标准试剂气相色谱法相对误差（RE）-20%～20%的要求，RE在允许的范围内，准确度可以满足要求。