《表2 水浴温度对各组分峰面积的影响》
采用单因素实验,对MSA 5#、6#氢化尾气进行水浴加热,温度分别为25℃、75℃、80℃、85℃、90℃、90℃,水浴温度变化对各组分峰面积的影响结果见表2,对各组分质量比的影响见表3。从表2可以看出随着加热温度的升高,氢气、氯化氢的峰面积逐渐减小,二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅的峰面积逐渐增加,从表3可知90℃时氯硅烷可能还没完全汽化,但水浴加热温度只能到90℃,将采取延长加热时间或采用玻璃纤维加热带进行加热。
图表编号 | XD0035212000 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2019.01.20 |
作者 | 杨红燕、毛智慧、陶明、任国杨 |
绘制单位 | 云南冶金云芯硅材股份有限公司、云南省光电子硅材料制备技术重点实验室、云南冶金云芯硅材股份有限公司、云南省光电子硅材料制备技术重点实验室、云南冶金云芯硅材股份有限公司、云南省光电子硅材料制备技术重点实验室、云南冶金云芯硅材股份有限公司、云南省光电子硅材料制备技术重点实验室 |
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