《表3 水浴温度对各组分质量比的影响》

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《气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量》

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采用单因素实验，对MSA 5#、6#氢化尾气进行水浴加热，温度分别为25℃、75℃、80℃、85℃、90℃、90℃，水浴温度变化对各组分峰面积的影响结果见表2，对各组分质量比的影响见表3。从表2可以看出随着加热温度的升高，氢气、氯化氢的峰面积逐渐减小，二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅的峰面积逐渐增加，从表3可知90℃时氯硅烷可能还没完全汽化，但水浴加热温度只能到90℃，将采取延长加热时间或采用玻璃纤维加热带进行加热。