《表2 文献报道的RIE和MACE制备纳米绒面结构的多晶硅太阳电池的关键光电参数Tab.2 Performance parameters of RIE and MACE nano-textured m

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《工业级纳米绒面多晶硅太阳电池的制备及其性能研究》

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本研究中，RIE纳米绒面多晶硅太阳电池的产线均值光电转换效率超过了19.1%，相对于传统WAE微米尺寸绒坑结构的多晶硅太阳电池的产线均值光电转换效率绝对值提升大于0.4%，最大光电转换效率可达到19.56%。如表2统计对比所示，本研究RIE纳米绒面多晶硅太阳电池最佳电池的光电转换效率相对于文献报道的RIE法制备纳米绒面结构[15-16]和MACE法制备纳米绒面结构[19]的多晶硅太阳电池有所提升。其主要原因是:本研究制备的RIE纳米绒面多晶硅太阳电池采用了五主栅密细栅浅匹配浅结高方阻扩散层的光电结构，优化了氮化硅钝化减反膜系参数，同时结合了RIE法制备纳米绒面结构，最终实现了各光电结构和各产线工艺的有效集成。产业上，MACE法制备的纳米绒面能够使电池光电转换效率绝对值提升约0.3%，其附加工艺及使用化学品等使得单片电池成本提升0.15~0.20元（RMB）；而RIE法制备的纳米绒面能够使电池光电转换效率绝对值提升约0.4%，其附加设备及使用特气、化学品等使得单片电池成本提升0.30~0.40元（RMB）。二者相比较，RIE法对电池对提升效率有优势，而MACE法具有成本优势。另外，RIE法制备纳米绒面多晶硅太阳电池工艺稳定，易于实现大批量生产。而MACE法制备纳米绒面多晶硅太阳电池的工艺稳定性和重复性需要进一步探究，且工艺中使用贵金属离子，需要考虑环境污染问题。