《表1 物镜集成尺寸链分解（物镜法兰面基准）》
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通过尺寸链分析可知，物镜像面到主基板上表面尺寸公差为±1.05 mm，见表1。
| 图表编号 | XD00149350700 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.04.20 |
| 作者 | 陈慧 |
| 绘制单位 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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