《表7 掩模台分系统集成尺寸链分解(物镜法兰面基准)》
采用极值法进行装配尺寸链分解,对两种工况作影响分析,尺寸链分解结果见表6和表7。比较两组数据可知,主基板到物面的尺寸链组成环不一样,在以像面为基准中,组成环是F3、F4,中间基准是像面;在以物镜法兰面为基准中,组成环是G3、G4,中间基准是物镜法兰面。因这个差异,像面基准时的总误差为±2.45 mm,法兰面基准时总误差为±1.4 mm。分析此差异,对集成工艺没有影响;但对装配有影响,垫片的修磨余量为2.5 mm,这个修磨余量对于法兰面基准工况余量过大,增加了修磨时间,影响集成效率,所以需要设计做变更。
图表编号 | XD00149351500 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.04.20 |
作者 | 陈慧 |
绘制单位 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |