《表2 工件台集成尺寸链分解（像面基准）》

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《LED光刻机物镜垂向基准变化的影响分析》

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采用极值法进行装配尺寸链分解，分析在两种工况下，对工件台分系统的影响，尺寸链分解结果见表2和表3。经过比较可知，除了物面到主基板上表面的尺寸公差（B2/C2）不同外，其他均一致。从设计层面分析，像面基准时的总误差为±0.7 mm，垫片的修磨余量可满足需求；而以法兰面基准的总误差为±1.7 mm，垫片的修磨余量不足，需要作设计变更。从集成工艺层面看，以像面为基准时，像面位置相对于主基板已知，所以工件台的整机集成顺序不受物镜制约；而以物镜法兰面为基准时，像面相对于主基板位置由像面相对应物镜法兰面的分系统实测数据决定，所以工件台的整机集成顺序受物镜制约，需物镜给出实测数据后才能集成。