《表6 掩模台分系统集成尺寸链分解（像面基准）》

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《LED光刻机物镜垂向基准变化的影响分析》

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采用极值法进行装配尺寸链分解，对两种工况作影响分析，尺寸链分解结果见表6和表7。比较两组数据可知，主基板到物面的尺寸链组成环不一样，在以像面为基准中，组成环是F3、F4，中间基准是像面；在以物镜法兰面为基准中，组成环是G3、G4，中间基准是物镜法兰面。因这个差异，像面基准时的总误差为±2.45 mm，法兰面基准时总误差为±1.4 mm。分析此差异，对集成工艺没有影响；但对装配有影响，垫片的修磨余量为2.5 mm，这个修磨余量对于法兰面基准工况余量过大，增加了修磨时间，影响集成效率，所以需要设计做变更。