《表2 物镜内部静变形计算结果》

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《光刻机物镜主动阻尼接口设计及测量系统布局》

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其次，将物镜接口刚度设置在光刻机有限元简化模型的物镜接口参数中，计算物镜间的静变形。计算的工况为工件台Chuck处于极限位置（X:400，Y:1300）、掩模台处于极限位置（X:0，Y:850）及两者分别处于零位（X:0，Y:0）状态时，因内部世界质心变化带来的光轴间的相对变化量（a），计算结果见表2，满足需求。