《表1 干涉显微物镜的技术参数》

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《宽频谱表面轮廓形貌干涉检测技术进展》

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当前，随着加工技术的多元化，元件光学性能的表面微纳结构形貌和超光滑表面形貌明显提升，属于光学元件表面轮廓形貌的高空间频率成份，需要利用宽光谱显微干涉技术来检测表面轮廓形貌的高频分量。与国内某些研究单位“核心组件———显微干涉物镜采购国外、仅聚焦于图像处理软件”的思路不同，南京理工大学立足于国内自主知识产权，攻克了系列倍率的显微干涉物镜的光学设计、系统装调、白光干涉图扫描与微观轮廓提取等关键技术，2017年研制成功白光显微干涉仪，系统配置了5×、10×、20×、50×显微干涉物镜，解决了光学表面高频轮廓形貌的检测技术难题[17]。在光学、机械、集成电路、生物医疗行业具有广阔的应用前景。白光显微干涉仪及干涉显微物镜、软件界面如图19所示，显微干涉物镜的技术参数见表1。该成果获得国防技术发明二等奖。