《表1 f=30 Hz时物镜接口刚度》

《表1 f=30 Hz时物镜接口刚度》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
本系列图表出处文件名:随高清版一同展现
《光刻机物镜主动阻尼接口设计及测量系统布局》


  1. 获取 高清版本忘记账户?点击这里登录
  1. 下载图表忘记账户?点击这里登录

首先,根据物镜质量、接口频率匹配物镜接口刚度。当f=30 Hz时,物镜接口刚度如表1所示。