《表1 正交试验结果：镍-磷-氮化硅复合化学镀工艺优化》

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《镍-磷-氮化硅复合化学镀工艺优化》

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以硫酸镍、氟化氢铵、次磷酸钠、柠檬酸三钠和氮化硅的质量浓度，以及pH、施镀时间为因素，显微硬度为评价指标，按L18（37）正交表对Ni–P–Si3N4复合化学镀工艺进行优化[4-5]，结果见表1。