《表2 不同工艺参数下TiN薄膜的颜色》

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《氮氩气流量比对磁控溅射氮化钛薄膜微观结构的影响》

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由表2可以看出，不同N2流量下所得TiN薄膜的颜色差异较大。当N2流量为5 sccm和25 sccm时，薄膜显现蓝色，但N2流量为10 sccm时，薄膜外观颜色为绿色（见图4a）。在气体总流量为5 sccm时，通入Ar气体后，薄膜外观颜色显现蓝紫色（见图4b），且随着N2流量减小，薄膜颜色加深。结合SEM观察可知，晶粒直径越小，薄膜颜色越深。这与文献[14]的报道类似。