《表5 不同工艺参数对薄膜疏水角的影响分析》

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《SrTiO_3衬底表面外延生长TiCN薄膜工艺参数优化及疏水疏油性能》

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注:K值表示不同水平下薄膜与水的接触角之和；k值表示不同水平下薄膜与水的接触角均值；R为极差值。

试验因素的极差值反映了不同因素对薄膜与水的接触角的影响比重，结果中若某一因素的极差值越大，表明该因素对薄膜的水接触角影响越显著，极差值分析见表5。