《表2 MCD/Metal/Si和MCD/Si薄膜样品的电学特性参数》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《金属过渡层增强金刚石薄膜场发射性能的机理研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

除此之外样品的电性能测试也证明了上述推论。采用霍尔效应测试仪对样品电性能测试，结果如表2所示。金属过渡层使金刚石薄膜的电学特性发生了明显的变化:MCD/Metal/Si复合结构薄膜的电导率和载流子浓度均优于MCD/Si薄膜样品；不同金属（Ti、W）过渡层对金刚石薄膜的电学特性影响不同。其中，金属钨过渡层复合结构薄膜（MCD/W/Si）的电导率和载流子浓度高于MCD/Ti/Si和MCD/Si，表现出最优的电学性能。