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目 录5

一、国外大规模集成电路发展概况5

二、MOS存储器24

三、半导体矩阵制造自动设计40

——选择布线系统40

四、单片式大规模集成电路的多层布线技术62

五、集成电路、大规模集成74

电路中的玻璃工艺74

六、大规模集成电路的两种互连技术86

七、大规模集成电路的检测图案100

八、大规模集成电路的失效机构114

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