《大规模集成电路研究成果汇编》

目次1

熊猫系统——超大规模集成电路CAD系统1

VENUS实用化6

VLSI布图系统实用化及其工艺数据库8

集成电路逆向剖析系统ICRES-Ⅱ10

计算机辅助大规模集成电路仿制设计系统12

大规模集成电路芯片版图识别系统14

硅编译方法研究15

微波、功率集成电路计算机辅助设计18

集成电路测试程序库21

集成电路计算机辅助测试系统研究23

测试方法研究及应用25

大规模集成电路测试方法与应用28

微处理器功能测试方法及门阵列可测试性研究与应用30

模拟电路直流中测方法研究及应用32

在线检测仪器的研制并实用化及数据采集34

集成电路计算机辅助制造技术研究37

1-1.5微米CMOS VLSI工艺技术开发40

1兆位汉字库只读存储器的研制42

2-3微米CMOS工艺优化45

3微米CMOS工艺优化47

ECL 600门阵列电路及3微米双极工艺优化51

5微米双极工艺优化及推广54

5微米CMOS工艺优化与普及推广59

5微米双极工艺优化62

高密度载体外壳和LCC、PGA（44—132pin）新型封装系列开发65

优化过程中的材料，工艺缺陷分析68

微细加工技术研究71

16位微机配套电路74

88毫米20兆温盘驱动器配套专用电路76

132毫米40兆温盘驱动器配套专用电路78

数控机床配套专用电路81

数控机床配套专用电路（控制、驱动IC）83

机床数显专用大规模集成电路85

移动通讯专用大规模集成电路86

电荷耦合器件（CCD）摄像电路88

电话机专用电路90

录像机配套系列电路开发92

局用万门程控交换机专用电路96

收录机电路98

电子玩具系列电路100

电子钟表电路103

KW1871无线电控制编码器／发射器、KW1872无线电控制接收器／译码器104

电阻网络和芯片冗余激光修正仪107

光刻设备芯片处理系统110

BG—101直接分步曝光机实用化113

BKJ100—B型半自动接触／接近式光刻机115

RHT型自动快速热处理设备117

H46700—1型高性能多靶磁控溅射台121

管芯划片装片焊接自动化设备124

超纯水设备128

ZTG—100自动投影光刻机132

接触／接近式全自动掩模对准曝光机134

直接分步重复投影光刻机136

金属有机源分子束外延设备（MOMBE）139

GaAsφ50mm工艺技术和GaAs超高速集成电路142

微波单片集成电路及制造技术145

HEMT高速电路和HBT高速电路148

微波低噪声高电子迁移率晶体管（HEMT）151

高电子迁移率晶体管集成电路（HEMT IC）用分子束外延材料154

GaAs新器件结构及基础工艺研究155

高压液封原位合成生长大直径半绝缘砷化镓单晶技术158

半绝缘砷化镓中EL2与亚稳态深中心和浅杂质特性的研究162

等电子杂质In在砷化镓中行为研究165

GaAs中缺陷及金属半导体界面研究167

SOI技术和三维集成电路基础研究170

用横向外延生长技术制备SOI膜和三维集成电路的基础技术研究172

多元逻辑高速数码乘法器电路175

VLSI各种薄膜的基本理化性质及其应用的研究176

VLSI中各种薄膜的栅结构界面特性的研究180

固相反应金属硅化物TiSi2、CoSi2、PtSi薄膜技术和超薄介质膜制备技术183

小尺寸器件性能及物理限制的研究186

硅小尺寸器件性能及物理限制的研究188

磁泡Bloch线存储材料及器件研究191

磁泡布洛赫线存储功能研究195

色敏传感器198

LSI-CAD二级系统移植及实用化203

大规模集成电路应用开发204

机电仪配套专用集成电路205

LSI新品开发—用户专用电路208

可变矩形电子束曝光机210

光栅扫描电子束曝光机213

1：1扫描投影光刻机216

强流离子注入机217

中能量中束流离子注入机219

微离子束对准定位系统221

KDD—330单片自动反应离子刻蚀机224

硅分子束外延设备226

1—2微米专用集成电路的研究与开发229

康发系列CAE工作站230

HBT用的MBE AlGaAs/GaAs材料的研制232

异质结特性及界面应力研究235

离子注入SOI与激光再结晶SOM基础技术研究238