《材料科学与技术丛书 第16卷 半导体工艺》
作者 | (美)K.A.杰克逊(Kenneth A.Jackson)主 编者 |
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出版 | 北京:科学出版社 |
参考页数 | 627 |
出版时间 | 1999(求助前请核对) 目录预览 |
ISBN号 | 703007260X — 求助条款 |
PDF编号 | 810393028(仅供预览,未存储实际文件) |
求助格式 | 扫描PDF(若分多册发行,每次仅能受理1册) |

1 硅工艺1
2 化合物半导体工艺55
3 外延生长90
4 光刻145
5 选择性掺杂214
6 半导体工艺中的刻蚀工艺237
7 硅器件结构280
8 化合物半导体器件结构329
9 硅器件工艺343
10 化合物半导体器件工艺410
11 集成电路封装504
12 互连系统541
索引570
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