《半导体科学与技术》求取 ⇩

1半导体物理13

1.1 国外发展现状与趋势13

1.2 国内现状19

1.3 发展战略和优先支持的课题20

2半导体材料23

2.1 体材料23

2.2 薄层、超薄层材料34

3硅集成电路51

3.1 国外发展情况52

3.2 国内发展情况58

3.3 发展趋势与目标60

3.4 发展建议64

4化合物半导体微电子器件及集成电路69

4.1 国外发展现状与趋势69

4.2 国内发展现状与趋势82

4.3 战略重点与优先资助的课题84

4.4 政策与建议85

5.1 国外发展现状与趋势86

5半导体光电子器件86

5.2 国内发展现状93

5.3 发展战略和应优先资助的课题94

5.4 发展政策和战略措施95

6新型电力电子器件与灵巧功率集成电路98

6.1 国内外发展现状与趋势101

6.2 战略目标及优先资助的前沿课题106

6.3 战略措施108

7.1 半导体传感器110

7半导体传感器和微电子机械系统110

7.2 微电子机械系统和微型传感器118

7.3 发展趋势120

7.4 战略目标及优先资助的前沿课题121

8非晶态半导体与器件124

8.1 国内外研究现状与发展趋势124

8.2 主要研究课题的方向与目标129

9战略目标与措施137

9.1 战略地位137

9.2 目标与措施140

参考文献144