《表2 两个PMUT之间的真实距离和测量距离之差》

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《用于水下金属探测成像的压电式微机械超声波换能器》

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PMUT进行水下测距的实验方案如图6所示。首先，利用信号发生器（Tektronix DPO）产生一个脉冲信号，每一个脉冲信号包含3个频率为400 kHz，幅度为800 mV的正弦信号。然后，功率放大器（GA-2500A）将脉冲信号放大100倍驱动PMUT发射超声波。超声波达到PMUT时，引起PMUT膜的振动，从而引起电荷量的变化产生电压信号，将信号输入示波器（Tektronix AFG3022C）得到PMUT的接受信号，如图7所示。超声波在水中的传播速率为1 480 m/s，通过计算接收信号发和发射信号之间的时间差可以得到发射PMUT和接收PMUT之间的距离。利用这种测试方法测出PMUT的最大发射距离为12.8 m，能够满足水下远距离应用的目的并且测试距离远超现在所报道的器件。距离测试如表2所示。