《表1 器件主要参数：用于水下金属探测成像的压电式微机械超声波换能器》

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《用于水下金属探测成像的压电式微机械超声波换能器》

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工作频率是PMUT的重要性能参数之一。PMUT振动频率与AlN的厚度和半径有关。所以对于同一个频率可以由不同的AlN厚度和半径组合来实现。因此，在设计AlN薄膜的结构尺寸时要权衡考虑。通过Ansys力电耦合仿真，本文所设计的压电式微机械超声波传感器的结构参数如表1所示，满足远距离水下金属检测的要求。