《表1 轻质碳/碳纤维复合材料的综合性能表》

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《晶体生长用轻质碳/碳纤维复合圆桶的制备及性能研究》


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黏结碳结构可以保证碳/碳纤维复合材料具有一定的强度,使得碳/碳纤维复合桶容易安装,另外也能够使得材料耐受晶体蒸气的冲刷。本试验中碳/碳纤维复合材料的弯曲强度达到了0.2 MPa。另外本试验所制备的碳/碳纤维复合材料的总灰分质量分数只有3×10-4,如果经过纯化处理,灰分含量可以进一步降低。总灰分含量低可以减少晶体的污染,特别是半导体领域,对灰分含量的要求更低,有些场合总灰分质量分数要求达到5×10-6以下。本试验中使用石墨胶对碳/碳纤维复合圆桶进行表面处理,内部的灰分很难跑出,也可以进一步保证热场环境的洁净。