《表2 Cr/CrN多层膜的调制比信息》

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《电弧离子镀Cr/CrN多层膜的耐腐蚀性研究》


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控制每一组样品的总沉积时间为1h,通过改变Cr层和CrN层的沉积时间,来实现调制比的改变。关于Cr层和CrN层具体的沉积参数见表1。其中,样品1为纯CrN单层膜样品,样品2-5分别为调制比为1:7,1:5,1:3和1:1的Cr/CrN多层膜样品。五组样品的具体信息见表2。