《表3 不同调制比多层膜残余应力、结合力及硬度》

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《调质结构对Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜力学性能影响》

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式中，P为负荷（kg），d为压痕对角线长度（mm），可计算出当HV=30 660 MPa，P=0.025 kg时，d=3.89μm。对于维氏硬度的测试，要求试样的厚度（t）应不小于其压痕对角线的1.5倍[17]，也就是当膜层厚度大于5.84μm时，所测得的硬度基本没有受基体的影响。因此，本试验在膜层厚度达到7.54μm以后，所测得的硬度基本稳定在30 GPa左右。