《表1 不同周期厚度及膜层数的W/Al2O3多层膜》

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《具有优良隔热和力学性能的低热导率W/Al_2O_3纳米多层功能膜的构建》

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采用双靶射频磁控溅射的方法在钠钙硅玻璃上交替镀制W及Al2O3纳米多层膜，在5～40 nm范围内调变多层膜的周期厚度λ（单层W与单层Al2O3厚度之和），具体制备流程及参数见补充信息。所制备的不同周期厚度及层数的薄膜样品见表1。