《表4 不同厚度多层膜残余应力、结合力及硬度》
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《调质结构对Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜力学性能影响》
式中,P为负荷(kg),d为压痕对角线长度(mm),可计算出当HV=30 660 MPa,P=0.025 kg时,d=3.89μm。对于维氏硬度的测试,要求试样的厚度(t)应不小于其压痕对角线的1.5倍[17],也就是当膜层厚度大于5.84μm时,所测得的硬度基本没有受基体的影响。因此,本试验在膜层厚度达到7.54μm以后,所测得的硬度基本稳定在30 GPa左右。
图表编号 | XD0011289700 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.11.01 |
作者 | 林松盛、周克崧、冯诚诚、代明江、石倩、赵升升 |
绘制单位 | 广东省新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室广东省现代表面工程技术重点实验室、广东省新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室广东省现代表面工程技术重点实验室、广东省新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室广东省现代表面工程技术重点实验室、广东省新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室广东省现代表面工程技术重点实验室、广东省新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室广东省现代表面工程技术重点实验室、深圳职业技术学院 |
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