《表2 Ti N/Ag多层膜中各层的厚度》

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《Ag靶弧流对TiN/Ag多层膜结构和性能的影响》

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不同Ag靶弧流下沉积所得的Ti N/Ag多层膜的厚度变化曲线如图1所示，多层膜中Ti N层与Ag层各自的厚度见表2。由图1可以看出，随着Ag靶弧流的增大，多层膜的厚度逐渐增加。由于在起弧电压不变的情况下，随着弧流的增大，Ag靶工作时的功率增大，从而在相同时间内蒸发出的Ag靶材料增多，因而沉积到多层膜上的粒子增多，多层膜厚度自然增加。