《表3 Cr/CrN多层膜样品中的残余应力》

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《电弧离子镀Cr/CrN多层膜的耐腐蚀性研究》

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其中，σ表示残余应力，Ef表示基体材料的杨氏模量，υf表示基体材料的泊松比，d0表示无残余应力时的标准晶面间距，dhkl为实际情况的晶面间距，需测试得到。本文中使用不锈钢作为基体材料，其中Ef=195GPa，υf=0.3，d0=2.3940魡。dhkl可根据衍射峰所在位置对应的角度通过布拉格方程求解得到。将这些数据代入式（1）即可计算出残余应力的大小，具体结果见表3。