《表2 不同特性的氮化铝陶瓷基板主要性能指标》

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《不同相结构和微观结构对氮化铝陶瓷性能的影响》

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采用商用高性能的氮化铝粉体（典型指标见表1），按照配料、球磨、流延、等静压、排胶和烧结等制备工艺流程，制备出不同性能的氮化铝陶瓷基板，对制备出的陶瓷基板进行性能分析。AN1-AN6代表不同性能的陶瓷基板，其主要特性见表2。