《表1 ZTA陶瓷基板的性能》

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《ZTA陶瓷基板的材料设计及电学性能研究》

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在氧化锆体积分数8.57%中，氧化锆颗粒与氧化铝颗粒直径比为0.414部分的氧化锆体积占1/3，这类氧化锆体积分数为2.86%，直径比为0.225部分的氧化锆体积分数为5.71%。按照这个配比制备的流延生坯如图6（a）所示，ZrO2粉体的平均粒径为0.25μm；Al2O3粉体分为两种，一种平均粒径0.70μm，另一种平均粒径为2.00μm。图6（b）是陶瓷粉体通过烧结生长为陶瓷晶体的ZTA陶瓷基板背散射图像[17]，ZrO2晶粒的粒径为0.65μm；Al2O3晶粒也生长成两种尺寸，一种平均粒径为1.55μm，另一种平均粒径为2.85μm。ZrO2晶粒与Al2O3晶粒的直径比，基本符合立方堆积圆球与四面体间隙、八面体间隙的直径比。将8.57%ZrO2含量和16.00%ZrO2含量的ZTA陶瓷基板做成试条，测得其力学和电学性能如表1所示。