《表2 正交试验和极差分析结果》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《气相色谱法测定硅烷法生产多晶硅的尾气中硅烷的含量》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

试验考察了载气流量、柱温、检测器参比流量等因素对硅烷测定结果的影响，分别选择载气流量、柱温、检测器参比流量的4个不同水平（见表1），选用L16（43）正交表，按照三因素四水平设计，对体积分数为0.98%的硅烷标准气体进行试验，得到硅烷的峰高，结果见表2。极差分析结果见表2。