《表1 器件的光电特性参数》

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《非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制备及其光敏特性研究》

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图3是VDS=5V时器件在无光照及三种不同波段激光分别照射下的IDS1/2-VGS曲线。由图3可知，在无光照及660、450和405nm激光照射这四种情况下，该器件的Vth分别为4.3、4.2、2.5和0V，从测试结果看，660nm激光对器件影响不大，因为660nm激光能量只能在有源层激发出少量光电子。另外，当VGS=6V，VDS=5V时，利用图2和3中的数据，根据式（1）和（2），可得到表征该薄膜晶体管的激光探测能力和灵敏度指标参数，如表1所示。