《表1 主要固态微波功率器件的静态参数技术特性》

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《固态微波功率器件静态参数定值装置研制》

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注:VDS为被测器件施加的漏极偏置电压，IDS为被测器件施加的漏极偏置电流，VGS为被测器件施加的栅极偏置电压。

固态微波功率器件是电子设备的核心器件，对雷达、电子对抗、通信、卫星等装备的发展至关重要，得到了美国国防高级研究计划、中国核高基重大科技专项等重点计划的研究和关注。伴随着固态微波功率器件的快速发展，其性能优越、可靠性高、体积小等优势凸显，应用领域不断扩大，推动了移动通信和卫星通信终端的小型化，给通信设备、信号处理和图像处理及测量仪器等领域的技术发展带来了新的机遇[1]。表征固态微波功率器件直流特性的重要参数是静态参数，其测量准确性和稳定性是表征器件质量可靠性的重要技术指标，主要静态参数技术特性如表1所示。