《表2 优化后的烧结参数:千瓦级硅LDMOS微波功率晶体管关键技术研究》

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《千瓦级硅LDMOS微波功率晶体管关键技术研究》


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设定加热炉温度为400℃,对吸头下压力、吸头下行程、摩擦次数和摩擦幅度等参数进行了优化,优化结果如表2所示。