《表1 正交试验结果Tab.1 Orthogonal experimental results》

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《数据驱动的晶圆图缺陷模式识别方法》


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由参数测试结果发现,学习率为0.15,加权成本为0.07,相对训练次数为10,训练集比例为0.7时,CatGAN的分类效果较好。