《表3 CrN涂层检测结果Tab.3 Inspection results of CrN coating》

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《刀具表面磁控溅射CrN涂层及其耐磨性能研究》


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根据试验表的工艺参数,在高速钢刀具表面射频磁控溅射CrN涂层,测量CrN涂层的膜基结合力、硬度、膜厚、表面粗糙度,正交试验的结果见表3。