《表3 TC4钛合金及多层素CrN涂层性能》

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《TC4钛合金表面的多层素CrN涂层》

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注：E*=E/（1-υ2），υ=0.25。

基体TC4钛合金及多层素CrN涂层的加载-卸载曲线、沿涂层深度变化的杨氏模量和纳米硬度，见图5。为免除基体影响，纳米硬度值一般取涂层厚度1/10以内值；压痕受表面粗糙度影响波动较大；考虑涂层总厚度约为5μm，所以取450 nm处数值作为涂层和基体的杨氏模量和纳米硬度，如表3所示。多层素CrN涂层的杨氏模量、纳米硬度分别为320 GPa和25 GPa，比TC4钛合金的135 GPa和4.5 GPa分别提高2.37倍和5.5倍。