《表2 涂层元素含量分析：TC4钛合金表面的多层素CrN涂层》

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《TC4钛合金表面的多层素CrN涂层》

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图2为多层素CrN涂层的表面、截面形貌及沿截面元素分布图。CrN涂层表面平整、均匀且无缺陷。涂层截面具有明暗相间的多层特征，亮层为致密CrN层，暗层为疏松CrN层，涂层之间无空隙，衬底层由较薄Cr及CrN致密层组成，厚度约0.5μm，涂层总厚度约5μm。图2c为多层素CrN涂层截面元素分布的EDS结果，N、Cr元素沿截面深度方向上保持均匀分布，由表2元素含量分析可知，Cr和N的原子比约为3:2。