《表1 铱锡氧化物涂层元素含量》

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《配合物制备的铱锡氧化物涂层结构与稳定性》

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借助扫描电镜能谱仪对铱锡氧化物涂层进行元素含量分析，结果见表1。由表1可知，配合物制备涂层中铱锡元素的相对摩尔比为2.8∶7.2，与理论值（3∶7）基本一致；氯合物制备涂层中铱锡元素的相对摩尔比为5.8∶4.2，与理论值相差较大，锡元素偏差为60%。另外，涂层中还残有微量的氯元素、碳元素。氯元素的残留，可能是由于氯原子已进入铱锡氧化物的晶格或间隙中，而热力作用难以去除所致。碳元素的残留，可能是由于乙醇、丁醇挥发不彻底或配合物转化不完全所致。涂层中的钛元素、铝元素来自于钛基体。在配合物制备涂层过程中，铱、锡等源物质由氯化物转型为醋酸根、羟基等双配体化合物。与四氯化锡（沸点114℃）相比，这种双配体化合物的挥发性较低，在干燥、烧结过程中挥发损失小，从而较好地实现了涂层中元素相对含量与涂液的一致性。由于涂层中氧化锡起稳定作用，所以采用配合物为金属源制备涂层，将有助于延长其服役寿命。另外，锡的可控沉积，有利于含锡氧化物涂层电极的实用化。