《表2 CrN和CrVN涂层沉积参数》

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《冷作模具钢等离子渗镀CrVN复合涂层摩擦磨损性能研究》

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采用LDGNMC型辉光离子渗氮炉和自主研发的多弧离子镀设备分别进行等离子氮化和Cr VN复合涂层的制备。实验中使用两个相对分布的阴极靶，靶基距为250mm，所用靶材为高纯Cr靶和Cr V合金靶（Cr:V原子比为70:30），基体材料为DC 53冷作模具钢（硬度达到53 HRC）。首先将模具钢研磨抛光至镜面，然后置于辉光离子渗氮炉中进行氮化，氮化工艺参数如表1所示。为去除氮化样品表面化合物层，对其进行抛光处理，并分别放入酒精和丙酮溶液中超声清洗，然后，将清洗烘干后的试样放入真空室中进行涂层沉积。真空室本底真空4.0×10-3Pa。沉积前，先对样品进行Ar离子辉光清洗10min，再用离子源增强清洗30min，进一步提高涂层与基体间的结合强度[16]。涂层沉积过程中转架转速为3r/min，工作气体为氮气，纯度99.99%，先开启单个Cr靶沉积60min的Cr N过渡层，然后同时开启Cr靶和Cr70V30合金靶制备Cr VN涂层，而开启两个Cr靶制备Cr N涂层。具体涂层沉积工艺如表2所示。