《表1 一些常见材料在3个能量水平下的溅射率》

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《基于等离子体金属镀膜的可加热保暖服装材料设计与开发》

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低压等离子体金属镀膜可加热织物成功的关键在于各工艺参数的微妙平衡。决定等离子体金属镀膜工艺效率的因素很多。沉积速率与电流密度、溅射率、离子能量成正比，通过提高其中一个或多个参数值，沉积速率随之增加。其中，电流密度是度量电荷流向和大小的物理量，其对沉积速率有直接影响，因为蒸发沉积工艺中真空室内存在大量来自电子和电离化工作气体的带电粒子，这些带电粒子构成带有高能量水平的等离子体；电流密度与系统功率和电离率成正比。溅射率是溅射原子数与入射离子数的比值，可以理解为材料由离子轰击从靶材被溅射到衬底上的难易程度，在较低的离子能量水平时（<1 000 eV），溅射率随离子能量的上升而增加，因此，在较低离子能量水平时可通过提高离子能量（调较电压）或电流密度（提高电流）提高溅射粒子量；但在中等离子能量水平（>5 000 eV）以上时，只增加能量将缺乏效果。表1为一些常见材料在3个能量水平下的溅射率。