《表1 常见的几种减反射膜材料的折射率以及达到理想折射率需要引入的孔隙率[48]》

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《光伏玻璃减反射膜的研究进展》

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光伏封装普遍采用的低铁超白玻璃的折射率约为1.52，因此所对应的理想单层减反射膜的折射率为1.23。然而，自然界中不存在折射率如此低的固体材料[47]，需引入孔隙才能降低材料的折射率（式 （10）） 。表1[48]列出了常见的减反射膜材料以及达到理想折射率需具有的孔隙率。由表1可知，氟化物和Si O2的折射率较小，因此需引入的孔隙较少，相对于其他材料更容易实现。Fujihara等[49-50]将三氟乙酸盐合成的溶胶在镀膜后进行热处理，使其产生气相（如 （CF3CO）2O，CO和CO2） ，引入了孔隙，制备了多孔氟化物薄膜。他们还在玻璃基底上制备了折射率较低的多孔MgF2和CaF2薄膜。氟化物具有很宽的带隙，主要应用于紫外和深紫外区域的减反射[51]，但多数氟化物薄膜的制备过程涉及有毒的含氟化合物（如HF、CF3COF和COF2）[52]。相比之下，Si O2材料的来源更丰富、化学性质更稳定，对环境无污染，是目前光伏玻璃减反射镀膜产业中唯一得到应用的材料[53-54]，下文对其研究进展进行了充分的介绍。