《表1 ESD测试结果Tab.1 ESD test results》

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《ESD与短脉冲EOS失效的微观形态分析及验证》

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为了验证A组样品的ESD失效，在人体带电模式下对器件进行悬浮端和输出端ESD测试。实验采用SYSTEM 700 ESD测试机进行ESD模拟，按照文献[11]中的标准进行测试。将悬浮端设置为脉冲输入端，输出端接地端，测试3次，测试结果如表1所示。从表1可见，对样品施加反向脉冲电压1.5 kV时出现失效。随后对失效样品P5，P6，P7和P8进行I-V特性测试（图14），悬浮端与输出端之间均存在漏电流失效。