《表1 P+接地SCR在不同阱间距下的主要ESD特性参数Tab.1 The main ESD characteristics of P+grounded SCR with different well

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《ESD防护器件中SCR结构开启速度的优化与分析》

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当P+接地SCR的阳极和阴极分别接TLP信号的高低电位时，在满足设计要求的漏电流测试条件下，获得具有不同阱间距的P+接地SCR器件的V-T曲线，如图3所示。随着阱间距L增大，衬底寄生电阻变大，寄生的NPN三极管更易开启，及时泄放ESD电流，有利于快速开启。根据上文开启时间的定义，分别提取图3的TLP测试中的关键特性参数，如表1所示。随着L增大，P+接地SCR器件的Ton不断减小。