《表3 高精度标定平台标定数据》

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《五自由度测量中直线度现场标定方法研究》

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采用高精度标定平台，用激光干涉仪对五自由度测量装置中QPD1的Z向输出进行标定，标定范围为±125μm。标定数据和标定结果如表3和图11所示，系数kz的标定值为1.1060，直线度标定残差在±1μm以内。