《表2 低精度标定平台标定数据》

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《五自由度测量中直线度现场标定方法研究》

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采用低精度标定平台模拟现场标定环境，进行标定实验。标定平台偏摆角εzx在±125μm标定范围内变化超过1000μm/m。实验在保证阿贝偏位Lzx为0 mm，Lyx固定的条件下用激光干涉仪对五自由度测量装置中QPD1的X向输出进行标定，同时用五自由度测量装置测量标定平台的偏摆角εzx。标定数据如表2所示。图9（a）为未补偿偏摆角引入的阿贝误差和角锥棱镜成像误差时的标定结果，对测量结果进行二元线性回归，得到补偿后的标定结果，如图9（b）所示。