《表1 高精度标定平台标定数据》

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《五自由度测量中直线度现场标定方法研究》

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采用高精度标定平台，用激光干涉仪对五自由度测量装置中QPD1的X向输出进行标定，标定范围为±125μm。高精度标定平台角度变化不超过±5μm/m，保证Lzx和h/2n-Ly x在±10 mm以内，引入的直线度标定误差不超过0.1μm，可以忽略。标定数据和标定结果如表1和图8所示，系数kx的标定值为1.1488，标定残差在±1μm以内。