《表1 Co-Re化学气相沉积系统实验参数表》

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《Co-Re MOCVD设备反应室流场的CFD数值仿真》

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Co-Re化学气相沉积设备，如图6所示。采用的实验参数，如表1所示。实验流程为：首先往升华室和反应室通入氢气，空气排除干净后，对反应室进行抽真空处理，然后开启加热系统，使升华室加热到一定温度，然后打开不锈钢高温阀，将混合气体通入反应室，之后往反应室注入氢气，为了维持前驱体分压不变，然后反应120min，反应结束后注入惰性气体，待反应室恢复常压，取出样品。经测试，能够制备出表面良好的涂层。